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產(chǎn)品分類

您的位置:首頁 > 產(chǎn)品中心 > 儀器 > 實(shí)驗(yàn)室儀器 > TFE000049Helios G4 CX DualBeam雙束顯微鏡

產(chǎn)品中心
產(chǎn)品名稱: Helios G4 CX DualBeam雙束顯微鏡
產(chǎn)品型號: TFE000049
產(chǎn)品時(shí)間: 2020-06-29

客服熱線:4008005586

Thermo Scientific™ Helios™ G4 DualBeam™產(chǎn)品系列憑借其聚焦離子束和電子束性能、專有軟件、自動(dòng)化和易用性特征,重新定義了樣品制備和三維表征的標(biāo)試方式。屬于業(yè)界Helios DualBeam系列的第四代產(chǎn)品,專為滿足科學(xué)家和工程師的各類分析及研究需求而設(shè)計(jì),它將創(chuàng)新的Thermo Scientific Elstar ™ 電子鏡筒和Thermo

產(chǎn)品介紹

系統(tǒng)不僅配置進(jìn)的電子和離子光學(xué)系統(tǒng),還采用了一系列進(jìn)的技術(shù),可實(shí)現(xiàn)簡單一致的高分辨率S/TEM和原子探針斷層掃描(APT)樣品制備,以及質(zhì)量的內(nèi)部和三維表征,即使在挑戰(zhàn)性的樣品上也表現(xiàn)出色。Helios G4 CX DualBeam系統(tǒng)的技術(shù)創(chuàng)新結(jié)合易于使用、面的 Thermo Scientific AutoTEM ™4軟件(可選)和專業(yè)的應(yīng)用知識,可快速輕松地定位制備各類材料的高分辨S/TEM樣品。為了獲得高質(zhì)量的結(jié)果,需要使用低能離子進(jìn)行精拋,以大限度地減少樣品的表面損傷。Tomahawk聚焦離子束(FIB)鏡筒不僅可以在高電壓下進(jìn)行高分辨率成像和刻蝕,而且具有良好的低電壓性能,可以制備高質(zhì)量的TEM薄片。

 

產(chǎn)品特點(diǎn)

• Tomahawk離子鏡筒實(shí)現(xiàn)速、高質(zhì)量、定位TEM和原子探針樣品制備。

• lstar電子鏡筒以短時(shí)間獲取納米尺度信息。

• 多達(dá)6個(gè)集成化鏡筒內(nèi)及透鏡下探測器,采集優(yōu)質(zhì)、銳利、無荷電圖像,提供完整的樣品信息。

• 可選AS&V4軟件,精確定位感興趣區(qū)域,獲取質(zhì)量、多模態(tài)內(nèi)部和三維信息。

• 小于10nm復(fù)雜結(jié)構(gòu)的快速、準(zhǔn)確、精確刻蝕和沉積。

• 高度靈活的110 mm樣品臺和內(nèi)置的Thermo Scientific Nav- Cam ™ 相機(jī)實(shí)現(xiàn)精確樣品導(dǎo)航。

• 集成化樣品清潔管理和的DCFI和Thermo Scientific SmartScan ™ 等模式實(shí)現(xiàn)無偽影成像。

 

參數(shù)

電子束

• 在工作距離下:

  − 30kV下STEM 0.6nm

  − 15kV下 0.6nm

  − 1kV下 1.0nm

  − 1kV下 電子束減速模式 0.9nm

• 在束重合點(diǎn):

  − 15kV下 0.6nm

  − 1kV下 2.5nm

• 電子束流范圍:0.8pA–100nA

• 加速電壓范圍:200V-30kV

• 著陸能量范圍: 20eV-30keV

• 大水平視場寬度:4mm工作距離下為2.3mm

離子光學(xué)

• 大束流Tomahawk離子鏡筒

• 離子束流范圍:0.1pA–65nA

• 加速電壓范圍:500 V-30kV

• 兩級差分抽吸

• 飛行時(shí)間(TOF)校準(zhǔn)

• 15 孔光闌

• 大水平視場寬度:在束重合點(diǎn)出為0.9mm

• 離子源壽命至少1,000小時(shí)

• 離子束分辨率(在重合點(diǎn)處):

 − 30kV下 4.0nm(采用統(tǒng)計(jì)方法)

 − 30kV下 2.5nm(采用選邊法)

探測器

• Elstar 透鏡內(nèi)SE/BSE 探測系統(tǒng)(TLD-SE、TLD-BSE)

• Elstar 鏡筒內(nèi)SE/BSE 探測系統(tǒng)(ICD)

• Elstar 鏡筒內(nèi)BSE 探測系統(tǒng)(MD)

• ETD–Everhart-Thornley 二次電子探測器

• 樣品室紅外CCD相機(jī),用于樣品臺高度觀察

• ICE探測器-高性能離子轉(zhuǎn)換和電子探測器,用于采集二次電子和二次離子

• Nav-Cam ™ : 樣品室內(nèi)彩色光學(xué)相機(jī),用于樣品導(dǎo)航

• DBS–可伸縮式低電壓、高襯度、固態(tài)背散射電子探測器

• STEM 3+ – 可伸縮分割式探測器(BF、DF、HAADF)

• 集成電子束流測量

樣品臺和樣品

• 靈活五軸電動(dòng)樣品臺:

 -XY范圍:110mm

 - Z范圍:65mm

• 旋轉(zhuǎn):360°(連續(xù))

• 傾斜范圍:-15°到 +90°

• XY重復(fù)精度:3μm

• 大樣品高度:與優(yōu)中心點(diǎn)間隔85mm

• 大樣品質(zhì)量(0°傾斜):2kg(包括樣品托)

• 大樣品尺寸:可沿X、Y軸*旋轉(zhuǎn)時(shí)直徑為110mm(若樣品超出此限值,則樣品臺行程和旋轉(zhuǎn)會受限)

• 同心旋轉(zhuǎn)和傾斜真空系統(tǒng)

• *無油的真空系統(tǒng)

• 樣品倉真空(高真空):< 2.6 x 10 -6 mbar(24小時(shí)抽氣后),抽氣時(shí)間:< 5 分鐘樣品倉

• 電子束和離子束重合點(diǎn)在分析工作距離處(SEM 4mm)

• 端口:21個(gè)

• 內(nèi)寬:379mm

• 集成等離子清洗

產(chǎn)品料號產(chǎn)品貨號*產(chǎn)品名稱*產(chǎn)品規(guī)格
TFE000049TFE000049Helios G4 CX DualBeam雙束顯微鏡 Helios G4 CX DualBeam

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